3D NAND 공정 문제 공략하는 PWG5™와 3nm 로직 결함과 맞붙는 Surfscan® SP7XP
KLA는 PWG5™ 웨이퍼 기하 구조 계측 시스템과 Surfscan® SP7XP 웨이퍼 결함 검사 시스템의 두 가지 신제품을 발표했다. 이들 새로운 시스템은 최첨단 메모리 및 로직 집적 회로 제조에서 매우 어려운 문제를 해결하도록 설계됐다.
KLA의 Surfscan과 ADE 사업부 총괄 책임자인 지젠 바자에파람빌(Jijen Vazhaeparambil )은 “3D NAND의 복잡한 다층성으로 인해 웨이퍼 기하 구조 측정이 주목받고 있다”며 “새로운 패턴 웨이퍼 기하 구조 시스템인 PWG5는 웨이퍼 앞면과 뒷면의 평탄도 편차를 동시에 측정할 수 있는 감도를 갖고 있다. 최초의 인라인 속도와 탁월한 해상도는 3D NAND뿐만 아니라 선진 DRAM 및 로직 응용도 지원한다. KLA의 5D Analyzer® 데이터 분석 시스템과 결합된PWG5는 고객이 웨이퍼 재작업, 공정설비 재교정, 리소그래피 시스템 알람 같은 의사결정을 하는 데 도움을 줘 최상의 패터닝 교정이 적용될 수 있도록 해준다. PWG5 시스템은 공정 제어에 있어 중추적인 역할을 해 선진 메모리 및 로직 수율, 성능, 팹 수익성을 증대시키는 데 도움을 준다”고 설명했다.
바자에파람빌 총괄책임자는 “Surfscan의 설계팀은 감도 및 결함 분류를 지원하기 위한 기술 발전뿐만 아니라 비용 개선에도 초점을 맞췄다”고 덧붙였다. 그 결과 Surfscan SP7XP는 R&D에서부터 첨단 설계 노드 기판 및 소자의 대량 생산에 이르기까지 비패턴 웨이퍼 검사 응용을 위한 대표적인 단일 설비 해법이 되고 있다. 이 장비는 현재 실리콘 웨이퍼 제조업체, 무결점 공정을 개발하는 반도체 장비 제조업체, 반입되는 웨이퍼, 공정및 설비 품질을 보장하기 위한 반도체 팹에서 사용 중이다.
고성능 및 생산성을 유지하기 위해 Surfscan SP7XP와 PWG5 시스템은 KLA의 글로벌 종합 서비스 네트워크의 지원을 받는다. Surfscan SP7XP와 PWG5 시스템의 새로운 역량을 가능하게 하는 기술 발전에 대한 세부적인 내용과 시스템의 응용에 대한 보다 상세한 내용은 KLA 어드밴스 뉴스룸에서 확인할 수 있다.
한편 Surfscan 및 5D Analyzer는 KLA Corporation의 등록 상표이다.
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